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半导体特气检测仪XD-303

品牌：日本新宇宙COSMOS

仪器简介

半导体特气检测仪XD-303

仪器详情

半导体特气检测仪XD-303

半导体特气检测仪XD-303

特点：

    采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。

    高检测灵敏度。

    能检测很多种类的半导体特气。

    液晶数字显示。
　规格
型　　号 XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303
检测对象气体 砷烷 (ASH3) 磷烷 (PH3) 乙硼烷 (B2H6) 其它
检 测 范 围 1ppm 0～0.2ppm 0～1ppm 0～0.3ppm 0～1ppm 因规格而异
最 小 刻 度 0.1ppm 0.01ppm 0.1ppm 0.01ppm 0.1ppm  
采 样 方 式 自动吸引式
应 答 速 度 60%应答40秒

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